特許
J-GLOBAL ID：200903081736422510
角速度センサおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 洋二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-104257
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292175
出願日： 1999年04月12日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【課題】 圧電体セラミックにより角柱形状に形成された振動部を備える振動型の角速度センサにおいて、振動部の欠けによるオフセット振動及び検出振動の変化を抑制する。【解決手段】 角速度センサは、角柱状に形成された一対の振動部としてのアーム部4、5と各アーム部4、5を連結する連結部6とにより音叉形状に形成された圧電体セラミックからなる振動子1と、振動子1上に形成された駆動及び検出用の各電極10〜24とを備え、y軸方向へアーム部4、5を励振させるとともに、z軸回りの角速度が入力された時にx軸方向へ生じるアーム部4、5の振動状態を検出する。ここで、アーム部4、5の長手方向に沿った角部7には、角部7の全体に渡って均一な形状に面取り、あるいは欠けの発生しやすい部分に対し面取りされた面取り部8が形成されている。
請求項（抜粋）：
圧電体により角柱形状に形成された振動部(4、5)を備え、前記振動部の長手方向と略直交するy軸方向へ前記振動部を励振させるとともに、前記y軸及び前記振動部の長手方向に平行なz軸と直交するx軸方向へ生じる前記振動部の振動状態に基づいて、前記z軸回りの角速度を検出するようにした角速度センサにおいて、前記振動部の長手方向に沿った角部(7)には、該角部を面取りすることにより形成された面取り部(8)が設けられていることを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2F105AA02
, 2F105AA08
, 2F105BB12
, 2F105BB15
, 2F105CC01
, 2F105CD02
, 2F105CD06
