特許
J-GLOBAL ID：200903081742350431
プローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-304624
公開番号（公開出願番号）：特開平7-135240
出願日： 1993年11月10日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：
【要約】【目的】装置台上の被測定体と薄膜との空隙に、エア-を噴出させ、跳ね返りのエア-圧で薄膜の撓みを除去し、被測定体面に対してバンプ以外の接触を排除する。【構成】被測定体1の対向面に薄膜13が保持される保持台23を設け、この保持台23に薄膜13を配設し、この薄膜13に形成されたバンプ6が被測定体1と接続して被測定体1の電気的特性を検査する装置において、被測定体1の被測定体面と薄膜13の薄膜面との空隙27に適正な噴射量を噴射するエア-調整機構28aと、この調整機構28aで調整されたエア-を空隙27に噴射し、この噴射したエア-で空隙の圧力を大気より高めるエア-供給機構28とから成り、このエア-の圧力により薄膜面の撓みを除去することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被測定体の対向面に薄膜が保持される保持台を設け、この保持台に薄膜を配設し、この薄膜に形成されたバンプが上記被測定体と接続して上記被測定体の電気的特性を検査する装置において、上記被測定体の被測定体面と上記薄膜の薄膜面との空隙に適正な噴射量を噴射するエア-調整機構と、この調整機構で調整されたエア-を空隙に噴射し、この噴射したエア-で上記空隙の圧力を大気より高めるエア-供給機構とから成り、このエア-の圧力により薄膜面の撓みを除去することを特徴とするプロ-ブ装置。
IPC (2件)：
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