特許
J-GLOBAL ID：200903081743380245
輻射加熱装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-220735
公開番号（公開出願番号）：特開平9-063969
出願日： 1995年08月29日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【課題】 半径方向の温度ムラが小さく、ウエハ等の平板状の被加熱体の全面を均一に加熱することができる輻射加熱装置を提供する。【解決手段】 複数の点熱源31〜45を備え、平板状の被加熱体1を回転させながら、これらの点熱源からの輻射熱により加熱する輻射加熱装置において、被加熱体1の回転中心軸から各点熱源31〜45までの距離が互いに異なるように点熱源31〜45を配置したことを特徴とする輻射加熱装置。
請求項（抜粋）：
複数の点熱源を備え、平板状の被加熱体を回転しながら、これらの点熱源からの輻射熱により加熱する輻射加熱装置において、被加熱体の回転中心軸から各点熱源までの距離が互いに異なるように点熱源を配置して、被加熱体の半径方向の温度分布を平準化したことを特徴とする輻射加熱装置。
IPC (5件)：
H01L 21/205
, C23C 16/46
, F27B 5/14
, H01L 21/26
, H01L 21/22 501
H01L 21/205
, C23C 16/46
, F27B 5/14
, H01L 21/22 501 L
, H01L 21/26 L
