特許

J-GLOBAL ID：200903081746067246

圧電素子を用いた位置決め方法及び装置

発明者： 涌井 伸二 ,  浅田 克己 ,  佐藤 幹夫
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-323269
公開番号（公開出願番号）：特開平5-154743
出願日： 1991年12月06日
公開日（公表日）： 1993年06月22日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 圧電素子を位置決め用アクチュエータとした位置制御に粗動位置決めモードと微動位置決めモードとの二つの動作モードを設け、いずれかのモードを位置決めの目的に合せて選択し、それぞれのモードの特徴を生かす。また、この二つの動作モードを順次働らかせて位置決め時間を短縮する。【構成】 圧電素子1とこれに電気的に直列接続可能に接続したコンデンサ8を設ける。粗動位置決めモードでは、圧電素子1とコンデンサ8とを直列接続し、開ループ制御で位置制御を行う。精密位置決めを行なう微動位置決めモードでは、圧電素子1とコンデンサ8の直列接続を解き、圧電素子1のみをアクチュエータとして閉ループ制御で位置制御を行う。

請求項（抜粋）：

位置決め用アクチュエータとして圧電素子を用い、まず、位置決め精度が相対的に高くない粗動位置決めモードを行い、このモードでは該圧電素子にコンデンサーを直列に接続し、開ループで位置制御の駆動を行ない、ついで、位置決め精度が相対的に高い微動位置決めモードでは該圧電素子と該コンデンサーの直列接続を解き該圧電素子のみをアクチュエータとし、閉ループで位置制御の駆動を行なうことを特徴とする圧電素子を用いた位置決め方法。

IPC (6件)：

B23Q 15/24 ,  B23Q 5/28 ,  H01L 41/09 ,  B23Q 16/00 ,  G01B 7/00 ,  G01B 7/34