磁気記録媒体及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：則近憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-217353
公開番号（公開出願番号）：特開平6-044549
出願日： 1992年07月24日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【目的】本発明は、磁性膜の磁気特性向上と媒体S/Nの向上を目的とする。【構成】本発明の磁性膜は、Co<SB>(1-x-y) </SB>Pt<SB>x </SB>Cr<SB>y</SB>(ただし、0.15≦x≦0.40 , 0<y≦0.15)の組成を持ち、少なくとも酸素または窒素の一方を含有しているとともに、結晶粒が、非晶質によって分離されている。また、このような磁性膜を作製するために、酸素又は窒素を含む不活性雰囲気中で、スパッタ圧、スパッタ電力、ターゲット-基板間距離、バイアス電圧の各種スパッタ条件で作製する。

請求項（抜粋）：

非磁性の基板と、この基板上に形成されたCo<SB>(1-x-y) </SB>Pt<SB>x </SB>Cr<SB>y</SB>(ただし、0.15≦x≦0.40 , 0<y≦0.15)の組成を持つ少なくとも酸素又は窒素の一方を含有した磁性膜とからなる磁気記録媒体において、前記磁性膜が結晶質領域と非晶質領域とを有することを特徴とする磁気記録媒体。

IPC (2件)：

G11B 5/66 , G11B 5/85

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開平3-155606
特開昭63-220411
特開平4-079025

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