特許

J-GLOBAL ID：200903081746541843

磁気軸受装置

発明者： 高原 憲一
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 大胡 典夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-159827
公開番号（公開出願番号）：特開平7-019244
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年01月20日
要約：

【要約】【目的】 チャンバ内の汚染が低減でき、小形化した磁気軸受装置を提供する。【構成】 チャンバ32内の回転軸42の下部側に設けたスラスト円板66の上,下面に対向する上,下部スラスト電磁石69,70と、スラスト円板66の外周部に固定された下部ラジアル積層継鉄78の積層端面を覆うカバー79に対向する下部ラジアル電磁石77と、この電磁石の磁極間に取着されカバー79を検出面とするラジアル変位センサ83,84と、回転軸42の上部側に固定された上部ラジアル積層継鉄50の積層端面を覆うカバー51に対向する上部ラジアル電磁石49と、この電磁石の磁極間に取着されカバー51を検出面とするラジアル変位センサ55,56とを備えているので、下部,上部ラジアル積層継鉄78,50の積層端面の錆びの飛散がカバー79,51で防止され、また各電磁石及び各変位センサが回転軸42の軸方向に一列とならない配置で取り付けられる。

請求項（抜粋）：

筐体内に収納され回転軸の一端側にスラスト円板を設けた縦型の回転体と、前記スラスト円板の上,下面に間隙を設けるようにして磁極を対向させ前記回転体をスラスト方向に非接触に支持する上,下部スラスト電磁石と、前記スラスト円板の面を検出面として設けられ前記上,下部スラスト電磁石を制御するための信号を出力するスラスト変位センサと、前記スラスト円板の外周部に固定され外周積層端面が第1のカバーで覆われた第1のラジアル積層継鉄と、この第1のラジアル積層継鉄の外周積層端面に間隙を設けるようにして磁極を対向させ前記回転体の一端部をラジアル方向に非接触に支持する第1のラジアル電磁石と、この第1のラジアル電磁石の磁極間に前記第1のカバーの外面を検出面として取着され該第1のラジアル電磁石を制御するための信号を出力する一端側のラジアル変位センサと、前記回転軸の他端側に固定され外周積層端面が第2のカバーで覆われた第2のラジアル積層継鉄と、この第2のラジアル積層継鉄の外周積層端面に間隙を設けるようにして磁極を対向させ前記回転体の他端部をラジアル方向に非接触に支持する第2のラジアル電磁石と、この第2のラジアル電磁石の磁極間に前記第2のカバーの外面を検出面として取着され該第2のラジアル電磁石を制御するための信号を出力する他端側のラジアル変位センサとを具備したことを特徴とする磁気軸受装置。