特許
J-GLOBAL ID：200903081751694763
ガラス状カーボン製電極板及びそれを装着したプラズマエッチング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河備 健二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-075285
公開番号（公開出願番号）：特開2002-280356
出願日： 2001年03月16日
公開日（公表日）： 2002年09月27日
要約：
【要約】【課題】 エッチング時にプラズマエッチング用電極板がプラズマ消耗しても、プラズマエッチング用電極板と冷却板との密着性が充分に保たれ、しかも電極板の平面度が小さいため、結果として、エッチング特性が向上してシリコンウェハーの歩留まりがよくなるというプラズマエッチング用電極板及びそれを装着したプラズマエッチング装置の提供。【解決手段】 平行平板型のプラズマエッチング装置用ガラス状カーボン製電極板であって、プラズマ消耗に伴って該電極板の残り厚みが1〜1.5mmになったときに、(a)電極板の平面度が0.1mm以下であり、かつ(b)該電極板と冷却板とを3kgf・cm以下の取り付けトルクで重ね合せても、電極板と冷却板との隙間が0.05mm以下であることを特徴とするプラズマエッチング用ガラス状カーボン製電極板などを提供した。
請求項（抜粋）：
平行平板型のプラズマエッチング装置用ガラス状カーボン製電極板であって、プラズマ消耗に伴って該電極板の残り厚みが1〜1.5mmになったときに、(a)電極板の平面度が0.1mm以下であり、かつ(b)該電極板と冷却板とを3kgf・cm以下の取り付けトルクで重ね合せても、電極板と冷却板との隙間が0.05mm以下であることを特徴とするプラズマエッチング用ガラス状カーボン製電極板。
Fターム (3件)：
5F004AA16
, 5F004BA04
, 5F004BB29
