特許
J-GLOBAL ID:200903081753068320

多孔性構造体を迅速に緻密化する方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 湯浅 恭三 (外6名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-506579
公開番号(公開出願番号):特表平9-501394
出願日: 1994年08月10日
公開日(公表日): 1997年02月10日
要約:
【要約】多孔性の固体物体、特に炭素物体が、該物体の中に温度勾配を確立し、気体前駆物質を熱分解させて、導電性及び熱伝導性を有する堆積物(例えば炭素)を堆積させ、堆積が進行するに従って、誘導加熱によって、熱勾配を温度の低いゾーンへ移動させることにより、化学蒸着法によって緻密化される。
請求項(抜粋):
熱分解すると導電性の固体残留物を形成する気体化合物を、多孔性の固体構造体に侵入させ、前記化合物を前記構造体の気孔の中で熱分解させることにより、多孔性固体構造体を緻密化するための方法であって、 (a)前記多孔性構造体の中でこれを横断する熱勾配を確立する工程と、 (b)前記熱分解可能な化合物を含むガスを前記多孔性構造体に侵入させ、前記多孔性構造体の中の温度の高いゾーンに、導電性の固体残留物を優先的に堆積させる工程と、 (c)前記固体残留物の堆積が進行するに従って、緻密化されたゾーンに、前記多孔性固体構造体の緻密化されたゾーンに誘導結合する周波数の電磁線を与えることにより、前記温度勾配を維持しながら、前記温度の高いゾーンを温度の低いゾーンに向けて徐々に移動させる工程とを備えることを特徴とする方法。
IPC (3件):
C04B 41/85 ,  C04B 35/52 ,  C23C 16/44
FI (3件):
C04B 41/85 C ,  C23C 16/44 A ,  C04B 35/52 G
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平3-064475
  • 特許第4580524号

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