特許

J-GLOBAL ID：200903081753719976

プロセス制御装置

発明者： 上村 隆 ,  本郷 幹雄 ,  水越 克郎 ,  佐野 秀造 ,  高橋 貴彦 ,  岡本 恵美子 ,  田辺 義和
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-321695
公開番号（公開出願番号）：特開平5-158510
出願日： 1991年12月05日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：

【要約】【目的】シーケンス手順をコマンドで記述したプログラムを作成し、これを実行して一連のシーケンスを実行する途中で、一時停止状態を作り、別処理を行って一連のシーケンスを続行もしくは中断することにより、プロセスの多様化に対するシーケンスの変更を容易にすること。【構成】コンピュータ1上に一連のシーケンスをステップに分割し、シーケンスの一時停止,続行中断を含めその基本動作をコマンドとして登録しておく。一時停止についてはスイッチ6aによって、また、異常信号7についても入出力制御部4を介してコンピュータ1上に割込が入り、プログラムが一時停止するようにしておく。コンピュータ1上にシーケンスで順をコマンドで記述したプログラムをキーボード2で編集し、登録する。プログラム実行時、一時停止状態で、前記登録コマンドを受け付け実行する。

請求項（抜粋）：

一連のシーケンスをステップに分割し、その基本動作をコマンドとして登録するとともに、シーケンスの一時停止,続行,中断についてもコマンドとして登録しておき、シーケンス手順を前記コマンドで記述したプログラムで構成し、前記プログラムを走らせることによって所望のシーケンスを実行し、一時停止状態にあるとき、前記登録コマンドの入力を受け付け、当初のシーケンス以外の動作を実行可能であることを特徴とするプロセス制御装置。

IPC (2件)：

G05B 19/05 ,  H01L 21/02

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭61-033509
  
• 特開昭63-010204
  
• 特開昭64-072203
  
• 特開昭64-041004