移動案内装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高梨幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-273897
公開番号（公開出願番号）：特開平10-094925
出願日： 1988年01月22日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】極めて高精度に移動案内させることができる移動案内装置を得ること。【解決手段】基準面を有する定盤と、該基準面上でガイドに案内されて第1方向に移動する第1移動体と、前記第1方向とは交差する第2方向に移動する第2移動体とを有し、前記第1及び第2移動体は共に前記基準面上に静圧軸受で支持され、基準面に垂直な方向に関し、他の移動体に対して互いに非拘束となっていると共に、前記第1移動体と第2移動体に予圧機構を設けたこと。

請求項（抜粋）：

基準面を有する定盤と、前記基準面に沿って第1方向に移動する第1移動体と、前記基準面に垂直な方向に関して前記第1移動体を前記基準面に対して支持する第1静圧軸受と、前記第1移動体の前記第1方向への移動により前記第1方向に移動すると共に、前記第1移動体に対して第2方向に移動することにより前記基準面に沿って二次元的に移動する第2移動体と、前記第1移動体の前記第1方向への移動を前記第2移動体に伝達する第2静圧軸受と、前記基準面に垂直な方向に関して前記第2移動体を前記基準面に対して支持する第3静圧軸受と、前記第1移動体の前記基準面に対する姿勢を一定に保つために前記基準面に向けて前記第1移動体に予圧を与える第1予圧機構と、前記第2移動体の前記基準面に対する姿勢を一定に保つために前記基準面に向けて前記第2移動体に予圧を与える第2予圧機構とを有し、前記第2移動体は前記第2静圧軸受を取り付けるために前記第1方向に関して前記第1移動体の両側にそれぞれ設けられる複数の第1軸受取付板と、前記第3静圧軸受を取り付けるために前記基準面に垂直な方向に関して前記第1移動体と前記基準面の間に位置し、前記複数の第1軸受取付板のそれぞれに連結される第2軸受取付板を有し、第2予圧機構は前記第2軸受取付板に取り付けられていると共に、前記第2軸受取付板の前記基準面に対向する面には4つの静圧軸受ならびに複数の第2予圧機構が対称的に配置されていることを特徴とする移動案内装置。

IPC (4件)：

B23Q 1/38 , B23Q 1/62 , F16C 32/06 , H01L 21/68

FI (4件)：

B23Q 1/26 E , F16C 32/06 A , H01L 21/68 K , B23Q 1/18 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭60-127932
特開昭61-290231

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