特許

J-GLOBAL ID：200903081757527630

ガス放電型表示装置

発明者： 西亀 正志 ,  佐藤 了平 ,  薮下 明 ,  伊集院 正仁 ,  河合 通文 ,  福島 誠 ,  谷口 雄三
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-173604
公開番号（公開出願番号）：特開2000-011891
出願日： 1998年06月19日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】ガス放電型表示パネルの製造コストを低減することにある。特にエッチングのマスク材料を誘電体との反応防止層として機能させ、膜構造の簡略化を達成し、低コストを実現することを目的とする。【解決手段】本発明は、ウェットエッチング用のマスク材料にSiを用い、これをレーザ加工すると共に、このSiを酸化させてSiO2にすることで、誘電体との反応防止層として機能させた。

請求項（抜粋）：

複数の第1の電極を有する前面基板と、複数の第2の電極を有する背面基板とを備えたガス放電型表示装置であって、前記第1の電極にSi層を含むことを特徴とするガス放電型表示装置。

IPC (3件)：

H01J 11/02 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/00

FI (3件)：

H01J 11/02 B ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/00 K

Fターム (6件)：

5C027AA01 ,  5C027AA03 ,  5C040AA04 ,  5C040BB02 ,  5C040DD02 ,  5C040DD03