特許
J-GLOBAL ID：200903081768900995
レーザ光発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-228107
公開番号（公開出願番号）：特開平11-064904
出願日： 1997年08月25日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：
【要約】【課題】 紫外線領域のレーザ光を高パワーで長時間にわたり発生する。【解決手段】 レーザ発振器3が発生したグリーンレーザ光は第1のカーブミラー8の背面側から共振器4内に入射し、各ミラーで反射して循環する。そして硼酸バリウム結晶体6を通過することで、第2次高調波(紫外線領域のレーザ光)が発生し、第2のカーブミラー10を通じて共振器4の外に取り出される。硼酸バリウム結晶体6を通過するレーザ光のビームウエストは、第1のカーブミラー8と第1のフラットミラー12との間の距離を調整することで、従来の半分の46μmに設定されている。その結果、硼酸バリウム結晶体6におけるレーザ光のパワー密度は従来の1/4となり、レーザ光ビームを絞りすぎることによる硼酸バリウム結晶体6の急速な劣化を回避できる。
請求項（抜粋）：
レーザ発振器と、前記レーザ発振器が発生したレーザ光が入射する共振器と、前記共振器内の光路上に配置された硼酸バリウム結晶体とを含み、前記レーザ発振器が発生した前記レーザ光から高調波成分を抽出して紫外線領域のレーザ光を出力するレーザ光発生装置において、前記硼酸バリウム結晶体の前記光路に沿った長さが2mmないし6mmの範囲内にあり、前記硼酸バリウム結晶体を通過する前記レーザ光の、前記硼酸バリウム結晶体の箇所におけるビームウエストが40μmないし60μmの範囲内にある、ことを特徴とするレーザ光発生装置。
引用特許：
審査官引用 (1件)
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レーザー光波長変換装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平3-159530
出願人：インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイシヨン
引用文献：
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