特許
J-GLOBAL ID：200903081781707517
電界放出陰極装置およびその清浄化方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-293479
公開番号（公開出願番号）：特開平5-198255
出願日： 1992年10月30日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】本発明は微小冷陰極に対して清浄化処理を行う構成とされた電界放出陰極装置に関し、加熱手段を用いることなく清浄化処理を行うことを目的とする。【構成】電界放出効果により電子を放出するカソードと、前記カソードから電子を放出させるゲート電極とよりなる電子線源を複数個配列してなる電子線源アレイと、前記電子線源アレイに対向するように設けられ電子線源アレイから放出された電子を加速および捕捉するアノードと、前記電子線源アレイから放出された電子を電子線源の方向に付勢する電子反発手段とを備え構成し、カソードの清浄化処理時に前記電子反発手段を起動して、一のカソードから放出された電子を他のカソードに付勢する。
請求項（抜粋）：
カソード電圧を印加され、電界放出効果により電子を放出するカソードと、前記カソードに近接して形成され、所定のゲート電圧を印加されて前記カソードから電子を電界放出効果により放出させるゲートとにより構成される電子線発生要素を複数個配列して形成されてなる電子線源群を複数個配列して形成された電子線源アレイと;複数のアノード電極要素を前記電子線源アレイ中の複数の電子線源群に対向するように配設されてなり、所定のアノード電圧を印加されて前記電子線源アレイ中の電子線源から放出された電子を加速および捕捉するアノードと;前記電子線源アレイ中の電子線源から放出された電子を、前記電子線源の方向に付勢する電子反発手段とを備えたことを特徴とする電界放出陰極装置。
引用特許：
前のページに戻る
