特許
J-GLOBAL ID:200903081785966967

空間的な位置と方向づけを決定する方法と装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 江崎 光史 (外3名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-514600
公開番号(公開出願番号):特表2003-506691
出願日: 2000年07月20日
公開日(公表日): 2003年02月18日
要約:
【要約】干渉計を備えたレーザー追跡装置(1)と、反射鏡(3)に向けられたレーザービーム(5)を平行に反射するための、物体上に配置された、三枚プリズムまたは三枚鏡の形をした反射鏡(3)とによって決定される物体の位置は、レーザービーム(5)の方向とその経路の長さに関する測定データに基づいて計算される。更に、反射鏡(3)へのレーザービーム(5)の入射角度およびまたは物体(2)に対する反射鏡の変更可能な方向づけに関する付加的なデータが得られ、レーザービーム(5)の方向と経路の長さに関する測定データに基づいておよび前記の付加的なデータに基づいて物体(2)の位置と空間的な方向づけを計算することにより、物体(2)の空間的な方向づけが決定される。その際、入射角(α)に関する付加的な測定データに基づく干渉測定の測定データと方向測定の測定データは、この入射角への依存性が除去されるように補正可能である。入射角(α)を測定するために、反射鏡(3)は、レーザービーム(5)の中央部分が反射されずに反射鏡(3)を通過し、反射鏡(3)の背後で反射鏡に対して定置配置された位置センサ(12)に当たり、レーザービーム(5)の周囲部分が平行に反射され、干渉測定のために使用されるように形成されている。
請求項(抜粋):
実質的に定置されたレーザービーム源からの、方向を調節可能なレーザービーム(5)と、入射角に関係なく入射レーザービーム(5)を平行に反射する、物体(2)に配置された反射鏡(3)とによって、物体(2)、特に動かされる物体(2)の位置と空間的な方向づけを決定するための方法であって、レーザービーム(5)が反射鏡(3)に向けられ、物体(2)が動く間、レーザービーム方向を自動的に調節することによってレーザービームが反射鏡(3)を追跡し、この場合反射したレーザービーム(5)の経路の長さとレーザービーム(5)の方向に関する測定データが得られ、この場合反射鏡(3)と物体(2)の位置が前記測定データから計算される、方法において、反射鏡(3)へのレーザービーム(5)の入射角(α)に関する付加的な測定データおよびまたは物体(2)と相対的な反射鏡方向づけに関する測定データが得られることと、物体(2)の位置と空間的な方向づけが、レーザービーム(5)の方向と経路の長さに関する測定データに基づいておよび前記の付加的な測定データに基づいて計算されることを特徴とする方法。
IPC (6件):
G01B 11/00 ,  G01B 11/26 ,  G01C 15/00 103 ,  G01C 15/06 ,  G01S 17/06 ,  G01S 17/66
FI (6件):
G01B 11/00 G ,  G01B 11/26 Z ,  G01C 15/00 103 A ,  G01C 15/06 T ,  G01S 17/06 ,  G01S 17/66
Fターム (42件):
2F065AA01 ,  2F065AA06 ,  2F065AA19 ,  2F065AA20 ,  2F065AA31 ,  2F065BB15 ,  2F065DD02 ,  2F065DD06 ,  2F065FF13 ,  2F065FF23 ,  2F065FF28 ,  2F065FF41 ,  2F065FF65 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL12 ,  2F065LL15 ,  2F065LL17 ,  2F065LL62 ,  2F065UU02 ,  5J084AA02 ,  5J084AA04 ,  5J084AA05 ,  5J084AA10 ,  5J084AD02 ,  5J084AD06 ,  5J084BA03 ,  5J084BA11 ,  5J084BA14 ,  5J084BA33 ,  5J084BA34 ,  5J084BA39 ,  5J084BA57 ,  5J084BA58 ,  5J084CA67 ,  5J084DA01 ,  5J084DA07 ,  5J084EA05 ,  5J084EA34

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