特許
J-GLOBAL ID:200903081793699730
垂直磁気記録媒体およびそれを用いた磁気記憶装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
有近 紳志郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-145942
公開番号(公開出願番号):特開平8-017031
出願日: 1994年06月28日
公開日(公表日): 1996年01月19日
要約:
【要約】【目的】 下地膜形成用のスパッタリング・ターゲットに関する問題が生じないで、従来より優れた磁気特性と結晶配向性を実現する。【構成】 非磁性基板の上に直接または他の膜を介して下地膜を形成し、その上にCo基合金などの六方晶系磁性合金膜を形成する。前記下地膜は、Tiなどの六方晶系の非磁性材料からなる第1層と、Crなどの体心立方晶系の非磁性材料からなる第2層とが交互に積層された膜より構成される。【効果】 下地膜形成用のスパッタリング・ターゲットに関する問題が生じないと共に、従来より優れた磁気特性および結晶配向性が得られる。例えば1平方インチ当り5ギガビット以上の高い面記録密度で情報を記録・再生できる。
請求項(抜粋):
非磁性基板の上に直接または他の膜を介して形成された下地膜と、その下地膜の上に形成された六方晶系磁性合金膜とを備え、前記下地膜が、六方晶系の非磁性材料からなる第1層と体心立方晶系の非磁性材料からなる第2層とが交互に積層された多層膜より構成されることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
IPC (2件):
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