特許
J-GLOBAL ID：200903081806818254

液滴吐出装置及び方法、成膜装置及び成膜方法、デバイス製造方法、並びに電子機器

発明者：
臼田 秀範

臼田 秀範 について

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中村 真一

中村 真一 について

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高野 豊

高野 豊 について

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山田 善昭

山田 善昭 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 西 和哉 ,  志賀 正武 ,  青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-285988
公開番号（公開出願番号）：特開2004-122120
出願日： 2003年08月04日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：
【課題】 印字品質の劣化を招くことなく、機能液の多彩な液滴吐出を可能とすることによりワーク処理を効率良く行うことができる液滴吐出装置及び方法、成膜装置及び成膜方法、デバイス製造方法、並びに電子機器を提供する。【解決手段】 互いに仕様が異なる複数種の液滴吐出ヘッド8(第1吐出ヘッド8a〜第3吐出ヘッド8c)と、液滴吐出ヘッド8に対して電気的な負荷を与える複数のダミー負荷回路31a〜31cと、駆動する液滴吐出ヘッド8の種類に応じて、液滴吐出ヘッド8に接続するダミー負荷回路を切り替えるアナログスイッチ32a〜32c,33a〜33cとを備える。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
ワークに対して液滴を吐出する液滴吐出装置において、 複数種の液滴吐出ヘッドと、 前記液滴吐出ヘッドに印加する駆動波形の発振を抑えるための回路を有する複数の制御手段と、 前記液滴吐出ヘッドから吐出される前記液滴の種類に応じて、複数の前記制御手段のうちの何れかを選択する選択手段と を備え、 前記選択手段により選択された前記制御手段を介して前記駆動波形を前記液滴吐出ヘッドに印加することを特徴とする液滴吐出装置。
IPC (5件)：
B05C5/00 ,  B05D1/26 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  G02B5/20
FI (4件)：
B05C5/00 101 ,  B05D1/26 Z ,  G02B5/20 101 ,  B41J3/04 103A
Fターム (37件)：
2C057AF21 ,  2C057AJ01 ,  2C057AL12 ,  2C057AL14 ,  2C057AM16 ,  2C057AN07 ,  2C057AR16 ,  2C057BA14 ,  2H048BA02 ,  2H048BA64 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  4D075AC06 ,  4D075AC09 ,  4D075AC84 ,  4D075AC88 ,  4D075AC93 ,  4D075CA47 ,  4D075CB07 ,  4D075DA04 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DB31 ,  4D075DC19 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4D075EC11 ,  4D075EC17 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA22 ,  4F041BA34 ,  4F041BA38
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (12件)
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