特許

J-GLOBAL ID：200903081807838704

ウェーハ加工装置

発明者： 稲葉 高男 ,  沼本 実
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-296947
公開番号（公開出願番号）：特開2000-127027
出願日： 1998年10月19日
公開日（公表日）： 2000年05月09日
要約：

【要約】【課題】ウェーハの研磨ステージと、研磨終了したウェーハを位置決めする位置決め手段を有するアンロードステージとを備えたウェーハ加工装置において、加工装置の小型化を図ると共にスループットの向上を図る。【解決手段】本発明によれば、アンロードステージ22に、ウェーハ28を仕上げ研磨する研磨布158、160を組み込んだので、その組み込んだ分だけウェーハ28の搬送経路を短縮することができる。これにより、本発明によれば、加工装置の小型化を図ることができ、スループットも向上する。

請求項（抜粋）：

ウェーハを研磨する研磨ステージと、前記研磨ステージに隣接して配置されると共に、該研磨ステージで研磨終了したウェーハを位置決めする位置決め手段が設けられ、該位置決め手段で位置決めされたウェーハを次工程に受け渡すアンロードステージとを備えたウェーハ加工装置において、前記アンロードステージに前記ウェーハを仕上げ研磨する研磨布が設けられ、該研磨布の表面にウェーハが押し付けられて仕上げ研磨されることを特徴とするウェーハ加工装置。

IPC (2件)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/00 Z ,  H01L 21/304 622 Z

Fターム (9件)：

3C058AA07 ,  3C058AB03 ,  3C058AC01 ,  3C058AC04 ,  3C058AC05 ,  3C058CB03 ,  3C058CB05 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17