特許

J-GLOBAL ID：200903081815211478

感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性ドライフィルムレジスト、感光性カバーレイフィルム

発明者： 岡田 好史 ,  高河原 薫
出願人/特許権者： 株式会社カネカ
代理人 (1件)： 楠本 高義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-286092
公開番号（公開出願番号）：特開2007-108761
出願日： 2006年10月20日
公開日（公表日）： 2007年04月26日
要約：

【課題】充分な機械強度を有しつつ、耐熱性に優れ、更に加工性、接着性に優れた感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性ドライフィルムレジストを提供しようとする。またこのドライフィルムレジストをフレキシブルプリント基板に積層し、良好な物性を示す感光性カバーレイフィルムを提供しようとする。【解決手段】可溶性ポリイミド、炭素-炭素二重結合を有する化合物、および光反応開始剤および/または増感剤、を必須成分とし、さらに、R22SiO3/2及び/又は R23SiO2/2(R22、R23は、フェニル基、炭素数1〜4のアルキル基、アルコキシ基から選択される。)で表される構造単位を有するフェニルシロキサン、を含む、感光性樹脂組成物である。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

可溶性ポリイミド、 炭素-炭素二重結合を有する化合物、 および光反応開始剤および/または増感剤、を必須成分とし、さらに、 R22SiO3/2 及び/又は R23SiO2/2 (R22、R23は、フェニル基、炭素数1〜4のアルキル基、アルコキシ基から選択される。) で表される構造単位を有するフェニルシロキサン、 を含み、 前記炭素-炭素二重結合を有する化合物が、1分子中に芳香環を1個以上、かつ炭素-炭素二重結合を2個以上有する化合物であり、前記1分子中に芳香環を1個以上、かつ炭素-炭素二重結合を2個以上有する化合物が、一分子中に -(CHR14-CH2-O)- (ただし、R14は、水素もしくはメチル基、もしくはエチル基) で示される繰り返し単位を6個以上40個以下持つ化合物を含有し、 前記可溶性ポリイミドが、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジエチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジエチルアセトアミド、N-メチル-2-ピロリドン、N-ビニル-2-ピロリドン、フェノール、o-、m-、またはp-クレゾール、キシレノール、ハロゲン化フェノール、カテコール、テトラヒドロフラン、ジオキサン、ジオキソラン、メタノール、エタノール、ブタノール、アセトン、メチルエチルケトン、ブチルセロソルブ、ヘキサメチルホスホルアミド、γ-ブチロラクトンから選択される溶媒100gに、20°Cから50°Cで1g以上溶解するものである、感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/037 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/075 ,  G03F 7/004 ,  H05K 3/28 ,  H05K 3/00 ,  G11B 5/60

FI (7件)：

G03F7/037 ,  G03F7/027 502 ,  G03F7/075 521 ,  G03F7/004 512 ,  H05K3/28 F ,  H05K3/00 F ,  G11B5/60 P

Fターム (23件)：

2H025AA00 ,  2H025AA02 ,  2H025AA13 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC83 ,  2H025BJ01 ,  2H025CA00 ,  2H025CB25 ,  2H025CB33 ,  2H025CC20 ,  2H025DA01 ,  2H025FA17 ,  5D042TA09 ,  5E314AA27 ,  5E314AA32 ,  5E314AA36 ,  5E314CC15