特許

J-GLOBAL ID：200903081826591779

紫外線処理方法およびそれに用いる装置

発明者： 河野 進
出願人/特許権者： 株式会社アドバンスト・ディスプレイ
代理人 (1件)： 朝日奈 宗太 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-139648
公開番号（公開出願番号）：特開平8-332371
出願日： 1995年06月06日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：

【要約】【目的】 紫外線の露光量をリアルタイムで連続的に管理し、オゾンの濃度の変化に対応させて被照射物への露光量を制御して一定に保つ紫外線処理の方法およびそれに用いる装置を提供する。【構成】 本発明の方法は紫外線の照射に伴って発生するオゾンの濃度を監視してその変化に対応させて紫外線の露光量を制御する。また本発明の装置は排気用ダクトが接続されたチャンバと、該チャンバ内に設けられた、紫外線を発生する光源および被照射物を搬送する手段とからなり、オゾン濃度計のサンプリングポイントを、紫外線光源の直下、排気用ダクトの内部またはサブチャンバの内部に設置している。

請求項（抜粋）：

被照射物に紫外線を照射して被照射物に紫外線処理をする方法であって、前記紫外線の照射に伴って発生するオゾンの濃度の変化に対応させて前記紫外線の露光量を制御して一定に保つことを特徴とする紫外線処理方法。