特許

J-GLOBAL ID：200903081829076263

非接触表面粗さ測定方法およびその測定装置

発明者： 渡部 一博 ,  高橋 昌 ,  平山 和弘
出願人/特許権者： 福島県
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-359429
公開番号（公開出願番号）：特開平10-170247
出願日： 1996年12月11日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】 2次元光電変換素子列を用いた簡易な装置で、散乱光分布解析法による非接触の状態で、被検査物の微少な変位に影響されず、自由曲面でも短時間で信頼性の高い2次元平均粗さを測定することができる。【解決手段】 被検査面5に対して法線方向から平行光束2を照射し、被検査面5からの散乱光分布を2次元光電変換素子列7で受光して、この素子列7の検知出力から画像データを構成し、散乱光分布の広がり具合パラメータとしてディスプレイ11の画面に表示した画像上で散乱光6の強度分布を3次元的な立体として考えたときの立体の重心を、強度分布の重心とし、この重心の平面的な位置を中心とする異なる面積の2つの領域内部における散乱光6の総合強度の比を計算し、この計算された比と、予め測定した総合強度の比と平均粗さを関連づけた評価データ16とを対比して被検査面5の粗さを評価する非接触表面粗さ測定方法。

請求項（抜粋）：

被検査面に対してほぼ法線方向から平行光束を照射し、被検査面からの散乱光分布を2次元光電変換素子列で受光して、この素子列の検知出力から画像データを構成し、散乱光分布の広がり具合パラメータとしてディスプレイ画面に表示した画像上、またはメモリに記憶された画像上で散乱光の強度分布を3次元的な立体として考えたときの立体の重心を、強度分布の重心とし、この重心の平面的な位置を中心とする異なる面積の2つの領域内部における散乱光の総合強度の比を計算し、この計算された比と、予め測定した総合強度の比と総合粗さを関連づけたデータとを対比して被検査面の2次元的平均粗さを評価する非接触表面粗さ測定方法。

IPC (3件)：

G01B 11/30 102 ,  G06T 7/00 ,  G06T 7/60

FI (3件)：

G01B 11/30 102 Z ,  G06F 15/62 415 ,  G06F 15/70 360