特許
J-GLOBAL ID：200903081829687343
光学式変位センサ及びこれを用いた駆動システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-337403
公開番号（公開出願番号）：特開平5-340719
出願日： 1992年12月17日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：
【要約】【目的】 小型化と高精度化・高分解能化を非常に高いレベルで両立したエンコーダやドップラ変位センサ等の光学式変位センサの提供。【構成】 半導体レーザ発光素子1と受光素子を筐体5内に内蔵して、筐体5の光学窓部に透明ガラス板3を取り付けて内部を密封する。透明ガラス板3の内面にはレンズ31A,31Bが形成され、外面には回折格子32A,32B,32Cが形成される。
請求項（抜粋）：
光学窓部を有する筐体、該筐体に内蔵される発光素子と受光素子、該窓部近傍に設けられた透光部材、該透光部材に設けられ、前記発光素子で生成された光を複数の光束に分割して出射させるための第1の光学機能素子、該透光部材に設けられ、前記出射された光束が相対変位物体に照射されて変調を受けた光を前記受光素子に導くための第2の光学機能素子、を有することを特徴とする光学式変位センサ。
IPC (2件)：
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