特許

J-GLOBAL ID：200903081829847111

薄型円盤体洗浄装置、薄型円盤体リンス装置および薄型円盤体洗浄リンス装置

発明者： 高橋 邦夫
出願人/特許権者： 有限会社ピースエイト
代理人 (1件)： 福村 直樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-076854
公開番号（公開出願番号）：特開平9-262557
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：

【要約】【課題】 ウエハーのような薄型円盤体を洗浄し、リンスする装置を提供すること。【解決手段】 ローラ上にウエハーを載置し、ウエハーに洗浄水を散布しつつ、回転ブラシによりウエハーを回転させ、同時に回転ブラシでウエハー表面を摺擦する洗浄装置と、洗浄されたウエハーをリンスするリンス装置と、洗浄装置からリンス装置へとウエハーを移動させる装置とを有すること。

請求項（抜粋）：

垂直に配置された薄型円盤体をその水平面内で回転可能に支持する回転支持手段と、前記薄型円盤体を挟持可能に配置された少なくとも一対の回転ブラシを備え、前記回転ブラシで前記薄型円盤体の表面を摺擦する薄型円盤体摺擦手段と、前記薄型円盤体に洗浄液を散布する洗浄液供給手段とを有することを特徴とする薄型円盤体洗浄装置。

IPC (4件)：

B08B 1/04 ,  B08B 3/04 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

B08B 1/04 ,  B08B 3/04 A ,  H01L 21/304 341 N ,  H01L 21/304 341 B