特許

J-GLOBAL ID：200903081831582583

単結晶インゴットの方位決め方法及び装置

発明者： 土屋 政博
出願人/特許権者： 理学電機株式会社
代理人 (1件)： 横川 邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-072955
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258262
出願日： 1993年03月08日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：

【要約】【目的】 単結晶インゴットをその結晶格子面に関して正確に位置決めする。特に、直角度に関するタオレを確実に防止する。【構成】 単結晶インゴット1を軸線L1まわりのある角度に置き、X線源2から出てインゴット1で回折したX線R1を第1スリット13aでその上側部分を取り出してX線カウンタ3で強度測定する。次いで、第2スリット13bに切り換えてX線R1の下側部分の強度を測定し、両方の強度値を比較する。両者が等しければインゴット1内の結晶格子面の方位が正常であり、両者が異なれば、両者が等しくなるまでインゴット1を軸線L1まわりにφ回転させる。回折X線についての赤道面を境とした上側部分と下側部分との強度の比較によって結晶格子面Qの方位を判定するので、判定結果がきわめて正確である。

請求項（抜粋）：

単結晶インゴットにX線を照射し、その単結晶インゴットで回折したX線の強度を測定することにより、単結晶インゴットの結晶格子面の方位を一定方向に位置決めする単結晶インゴットの方位決め方法において、 X線源から出て単結晶インゴットで回折しX線検出手段によって受け取られるX線ビームの中心光軸を含む面を赤道面と呼ぶとき、単結晶インゴットで回折したX線のうち赤道面を境にした上側部分のX線強度と、赤道面を境にした下側部分のX線強度とを個別に測定し、測定した両X線強度が互いに等しくなるように単結晶インゴットをφ回転させることにより、単結晶インゴットの結晶格子面の方位を一定方向に位置決めすることを特徴とする単結晶インゴットの方位決め方法。