特許
J-GLOBAL ID:200903081841940526

測定用プローブ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 木村 高久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-168465
公開番号(公開出願番号):特開平5-021543
出願日: 1991年07月09日
公開日(公表日): 1993年01月29日
要約:
【要約】【目的】 本発明は、測定対象物に種々の凹凸がある場合にも、電気的特性を良好に測定することのできる汎用型の測定用プローブを提供することを目的とする。【構成】 本発明では、先端中心に第1のプローブを突出せしめた同軸型プローブの外周に、スプリングを介して第2のプローブを装着し、第1のプローブの先端位置に対して、先端の高さが調整可能となるようにしている。望ましくはこの第2のプローブは同軸型プローブの外周にそって回動可能となるように装着されている。
請求項(抜粋):
先端中心に第1のプローブを突出せしめた同軸型プローブの外周に、スプリングを介して第2のプローブを装着し、第1のプローブの先端位置に対して、先端の高さが調整可能となるようにしたことを特徴とする測定用プローブ。
IPC (2件):
H01L 21/66 ,  G01R 31/26

前のページに戻る