特許

J-GLOBAL ID：200903081842135406

輪郭形状測定装置

発明者： 能田 正行
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-096826
公開番号（公開出願番号）：特開平5-296739
出願日： 1992年04月16日
公開日（公表日）： 1993年11月09日
要約：

【要約】【目的】 簡単なシステムで被測定物の輪郭形状を高精度で測定することができる輪郭形状測定装置を提供する。【構成】 ワーク台16の下面にスケール面16bを形成する。ワーク台16全体を撮像する低分解能のCCDカメラ34を設ける。投影像53の一部を撮像する高分解能のCCDカメラ36移動テーブル28に設ける。そして、コントローラ48で、?@CCDカメラ36で撮像された撮像画像50中から、キーマーク20Aを選択し、?A前記キーマーク20Aを基準とした、輪郭の測定点の相対座標を算出し、?Bキーマーク20Aのワーク台16におけるスケール座標を、CCDカメラ34で撮像されたワーク台16全体の撮像画像53中から算出し、?Cキーマーク20Aのスケール座標と算出した測定点の相対座標とに基づいて、該相対座標にCCDカメラ36の画素分解能を乗じ、該相対座標をワーク台16の原点0におけるスケール座標に変換し、?D変換した複数の前記スケール座標を連結して被測定物18の輪郭形状を作成する。というシーケンス制御を行う。

請求項（抜粋）：

上面に被測定物が載置され、その表面に原点からの位置を示す複数のマークが所定の間隔で形成されたワーク台と、前記ワーク台に対向して配置され、少なくとも同一平面内で移動可能な移動テーブルと、前記移動テーブルに設置され、前記マークの少なくとも1つを含む撮影倍率で前記ワーク台に載置された被測定物の一部分を撮像する第1のカメラと、前記第1のカメラからの出力に基づいて撮像画像中のマークを基準とした被測定物の輪郭の位置を算出する手段と、前記基準にしたマークの原点からの位置と前記算出した輪郭の位置とから、原点を基準とした該輪郭の位置を算出する手段と、から成り、前記移動テーブルを移動させて前記被測定物全体の輪郭形状を測定することを特徴とする輪郭形状測定装置。

IPC (4件)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/00 ,  G06F 15/62 400 ,  G06F 15/70 335