特許
J-GLOBAL ID：200903081842624725
インクジェットヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高野 明近
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-350609
公開番号（公開出願番号）：特開2000-168072
出願日： 1998年12月10日
公開日（公表日）： 2000年06月20日
要約：
【要約】【課題】 基板サイズの小サイズ化、実装工程の簡略化及び低価格化、振動板と対向電極の高密度化、工程の簡略化等を図る。【解決手段】 ノズル330と、該ノズル330に連通するインク流路130と、該流路130の一部に設けられた振動板120と、ギャップ150を挟んで該振動板120に対向して設けられた個別電極220とを有する。振動板120に取り付けられた共通電極と個別電極220との間に駆動電圧を印加し、振動板120を静電力により変形させ、ノズル330からインク液滴を吐出する。個別電極220の振動板120に対向する面の一部と、振動板120または該振動板120が形成された基板の一部の間にギャップ形成のための絶縁膜260が形成されていて、個別電極220の表面のうち振動板対向面とは反対側の表面に外部への電位取り出し用のパッドメタル250が設けられていて、隣接する個別電極間は絶縁性体280または真空により分離されている。
請求項（抜粋）：
ノズルと、該ノズルに連通するインク流路と、該インク流路の一部に設けられた振動板と、ギャップを挟んで該振動板に対向して設けられた個別電極とを有し、前記振動板に取り付けられた共通電極と前記個別電極間に駆動電圧を印加し、前記振動板を静電力により変形させ、前記ノズルからインク液滴を吐出するインクジェットヘッドにおいて、前記個別電極の前記振動板に対向する面の一部と前記振動板または該振動板が形成された基板の一部との間にギャップ形成のための絶縁膜を有し、前記個別電極の表面のうち前記振動板と対向する面とは反対側の表面に外部への電位取り出し用のパッドメタルを有し、隣接する個別電極間は絶縁性体または真空により分離されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (2件)：
Fターム (15件)：
2C057AF36
, 2C057AF93
, 2C057AG15
, 2C057AG54
, 2C057AG90
, 2C057AG92
, 2C057AG93
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP34
, 2C057AP53
, 2C057AQ02
, 2C057BA03
, 2C057BA04
, 2C057BA15
