特許

J-GLOBAL ID：200903081847857590

電子ビーム露光装置

発明者： 大饗 義久 ,  坂本 樹一 ,  山田 章夫 ,  安田 洋
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-240758
公開番号（公開出願番号）：特開平6-089850
出願日： 1992年09月09日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：

【要約】【目的】 本発明は電子ビーム露光装置に関し、微細パターンの露光を実現することを目的とする。【構成】 電子レンズ45は、電磁レンズコイル43、電磁偏向コイル44、及び電子レンズ45を一定温度に保つ補償用発熱手段46を有する。この電子レンズ45に、熱吸収手段50を設ける。熱吸収手段50は、電磁偏向コイル44、補償用発熱手段46、及び電磁レンズコイル43が発生する熱を吸収して、電子レンズ45から試料42への輻射熱を抑えるよう構成する。

請求項（抜粋）：

電子ビーム(41)を試料(42)上に縮小投影すべく該電子ビーム(41)を収束させる電磁レンズコイル(43)、及び上記電子ビーム(41)を上記試料(42)上所望の位置を照射すべく偏向させる電磁偏向コイル(44)とを有する電子レンズ(7B)の内部に、上記電磁偏向コイル(44)の発熱量の変化を補償するように発熱する補償用発熱手段(46)を有する構成の電子ビーム露光装置であって、上記電磁偏向コイル(44)、上記補償用発熱手段(46)及び上記電磁レンズコイル(43)が発生する熱を吸収する熱吸収手段(50)を有する構成としたことを特徴とする電子ビーム露光装置。

IPC (6件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/141 ,  H01J 37/305