特許
J-GLOBAL ID：200903081848231989
圧電素子とその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松村 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-340834
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156584
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】圧電素子片62の側端面に上下面の電極73、74と連続する電極を形成するためのレジストマスク93を形成する際に、露光不良によってレジストマスクが正確に形成されず、側端面における電極の形状不良によるショートや断線の発生を防止するようにした圧電素子を提供する。【解決手段】水晶ウエハーをエッチングして圧電素子片62を形成する際に、パウダービームエッチングを行なうようにし、これによって圧電素子片62の側端面をその全周に亘って厚さ方向の中央部が外方に突出するような傾斜面から構成するようにしたものである。
請求項（抜粋）：
圧電素子片の上下面にそれぞれ所定のギャップを隔てて2つの電極膜が分割形成されるとともに、側端面はその全周に亘って外方に突出する1つないし複数の傾斜面から構成されることを特徴とする圧電素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (12件)：
5J108BB02
, 5J108CC06
, 5J108CC08
, 5J108EE02
, 5J108EE07
, 5J108EE11
, 5J108FF03
, 5J108GG06
, 5J108HH04
, 5J108HH06
, 5J108MM08
, 5J108MM14
