特許
J-GLOBAL ID：200903081850754000
走査型荷電粒子線顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-178735
公開番号（公開出願番号）：特開平5-003014
出願日： 1991年06月24日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構造で試料に設けられた高アスペクト比の穴または溝の内部をも適確に観察できるようにする。【構成】 粒子線源からの荷電粒子線を対物レンズの磁場の中に配置された試料に照射して走査し、前記試料から2次荷電粒子線を検出することにより試料の観察を行なう走査型荷電粒子線顕微鏡であって、前記試料面に高電界を印加する手段を設け、前記試料に形成された高アスペクト比の穴または溝の内部に下に凸型に歪んだ電界を生じさせ、これにより前記穴または溝の内部観察をも可能とする。
請求項（抜粋）：
粒子線源からの荷電粒子線を対物レンズの磁場の中に配置された試料に照射して走査し、前記試料からの2次荷電粒子線を検出することにより試料の観察を行なう走査型荷電粒子線顕微鏡であって、前記試料表面に高電界を印加する手段を備えたことを特徴とする走査型荷電粒子線顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/28
, H01J 37/20
, H01L 21/66
