特許
J-GLOBAL ID：200903081855653554
ミラーデバイス、光スイッチ、電子機器およびミラーデバイス駆動方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
井上 一
, 布施 行夫
, 大渕 美千栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-259013
公開番号（公開出願番号）：特開2004-101553
出願日： 2002年09月04日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：
【課題】より少ない駆動力でミラーをより大きく駆動することが可能なミラーデバイス、光スイッチ、電子機器およびミラーデバイス駆動方法を提供すること。【解決手段】シリコン基板1に、ミラー10の駆動方向と交わる方向に所定の間隔で配置され、ミラー10と一体的に形成される複数のミラー側作用部13、14を設け、ガラス基板2に、対向側作用部33、34を設け、ミラー10から離れた位置にあるミラー側作用部14と対向側作用部34との間隔を、ミラー10から近い位置にあるミラー側作用部13と対向側作用部33との間隔と比較して狭く形成する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
所定の距離依存性駆動力によって駆動されるミラーを有するミラー基板と、当該ミラー基板を支持する支持基板とを有するミラーデバイスにおいて、
前記ミラー基板は、前記ミラーの駆動方向と交わる方向に所定の間隔で配置され、前記ミラーと一体的に形成され、前記距離依存性駆動力が作用する複数のミラー側作用部を有し、
前記支持基板は、前記ミラー側作用部との間で前記距離依存性駆動力が作用する複数の対向側作用部を有し、
前記ミラーから離れた位置にある前記ミラー側作用部と前記対向側作用部との間隔を、前記ミラーから近い位置にある前記ミラー側作用部と前記対向側作用部との間隔と比較して狭く形成し、前記ミラー側作用部および前記対向側作用部の少なくとも一方において前記距離依存性駆動力を発生することによって前記ミラーを駆動することを特徴とするミラーデバイス。
IPC (3件)：
G02B26/08
, B81B3/00
, H02N1/00
G02B26/08 E
, B81B3/00
, H02N1/00
2H041AA14
, 2H041AA16
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ01
, 2H041AZ05
, 2H041AZ08
