特許

J-GLOBAL ID：200903081860996508

ガス供給装置

発明者： 纐纈 雅之
出願人/特許権者： シーケーディ株式会社
代理人 (1件)： 富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-243875
公開番号（公開出願番号）：特開平7-071403
出願日： 1993年09月02日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：

【要約】【目的】 2以上の質量流量計ユニットを備えるガス供給装置で使用するエアオペレートバルブに、整然と制御用のエアチューブを接続することが可能なエアチューブガイドを有するガス供給装置を提供すること。【構成】 ガス供給装置は、質量流量計11と、質量流量計11の入力ポートと接続する入力エアオペレートバルブ15と、質量流量計11の出力ポートと接続する出力エアオペレートバルブ12とを備える質量流量計ユニットが2ユニット以上並列に配置されるガス供給装置であって、質量流量計ユニットに対して直交して配置され、エアオペレートバルブにエアを供給するエアチューブ32,33,34,35をユニット毎に収納するチューブ収納通路27を2段以上備えるエアチューブガイド29を有している。

請求項（抜粋）：

質量流量計と、質量流量計の入力ポートと接続する入力エアオペレートバルブと、質量流量計の出力ポートと接続する出力エアオペレートバルブとを備える質量流量計ユニットが2ユニット以上並列に配置されるガス供給装置において、前記質量流量計ユニットに対して直交して配置され、前記エアオペレートバルブに制御用エアを供給するエアチューブを前記ユニット毎に収納するチューブ収納通路を2段以上備えるエアチューブガイドを有することを特徴とするガス供給装置。