特許

J-GLOBAL ID：200903081865117880

干渉測定装置

発明者： 小林 裕忠
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-027316
公開番号（公開出願番号）：特開平5-196412
出願日： 1992年01月17日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：

【要約】【目的】 簡単な操作で参照光と物体光の強度を等しくし、コントラストの高い干渉縞を得ることで高精度な干渉測定を行なう。【構成】 レーザ光射出部20からのレーザ光路上にハーフミラー30,ビームスプリッタ3および参照面6が配設されている。ビームスプリッタ3からの反射光路上には被測定物5が、ハーフミラー30からの反射光路上には検光子7がそれぞれ設置されている。

請求項（抜粋）：

可干渉性光源より出射した光を2分する手段と、2分した一方の光路に被測定物を配置して該被測定物を反射もしくは透過した物体光と、2分したもう一方の参照光とを検光子を通して重ね合わせて干渉せしめる干渉測定装置において、入射光のP偏光成分の振幅透過率および振幅反射率をそれぞれT<SB>P </SB>,R<SB>P </SB>、S偏光成分の振幅透過率および振幅反射率をそれぞれT<SB>S </SB>,R<SB>S </SB>とするとき、R<SB>P </SB><T<SB>P </SB>かつR<SB>S </SB>>T<SB>S </SB>の条件を満足するビームスプリッタと、該ビームスプリッタに入射する光のP偏光成分およびS偏光成分の少なくとも一方が0でないレーザ光を出射するレーザ光出射部とを有することを特徴とする干渉測定装置。