特許
J-GLOBAL ID:200903081872241570
酸化亜鉛単結晶の育成方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
渡邉 一平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-286894
公開番号(公開出願番号):特開平7-138094
出願日: 1993年11月16日
公開日(公表日): 1995年05月30日
要約:
【要約】【目的】 種結晶の縮小化を抑制し、効率よく結晶成長させることができるZnO単結晶の育成方法を提供する。【構成】 水熱合成法を利用したZnO単結晶の育成方法である。それぞれ溶解速度の異なるZnO原料を育成容器下部の原料充填部に充填し、種結晶を育成容器上部の結晶育成部に設置する。原料充填部が結晶育成部より高温になるように、温度調整を行い、ZnO単結晶を育成する。
請求項(抜粋):
ZnO単結晶を水熱合成法を用いて育成するに当たり、(1) 夫々溶解速度の異なるZnO原料を育成容器下部の原料充填部に充填し、(2) ZnO種結晶を、育成容器上部の結晶育成部に設置し、(3) アルカリ溶媒を育成容器に充填し、次いで、育成容器を封止し、(4) しかる後、原料充填部が結晶育成部より高温となるように、育成容器内温度を調整して昇温及び育成を行う、ことを特徴とするZnO単結晶の育成方法。
IPC (3件):
C30B 29/16
, C01G 9/02
, C30B 7/10
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