特許

J-GLOBAL ID：200903081873590683

基板処理装置

発明者： 高野 智
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
代理人 (2件)： 赤澤 日出夫 ,  ▲橋▼場 満枝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-308034
公開番号（公開出願番号）：特開2007-116014
出願日： 2005年10月24日
公開日（公表日）： 2007年05月10日
要約：

【課題】 移載時及び処理室内で発生した基板の位置ズレを検出し、適時これを補正することにより、装置稼働率の低下を抑制し、基板品質の安定化を図り得る基板処理装置を提供する。 【解決手段】 移載装置で基板を前記気密室に対して搬入または搬出する際、搬送室内に設けられる基板待機位置にて基板の周縁部の検出を行い、正規の基板位置からの位置ずれ量を検出する少なくとも2つのラインセンサを設け、前記ラインセンサは、一方のラインセンサが前記基板待機位置における基板中心を原点とする極座標系において、基板中心から一方のラインセンサによる基板周縁部の検出点に向かう角度が前記気密室内への基板の搬入出方向と直交する方向に対して約20°〜50°の範囲で設けられ、他方のラインセンサが前記一方のラインセンサと前記搬入出方向に対して線対称に設けられている。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

移載装置を収容する搬送室と、前記搬送室に連通する少なくとも1つの気密室とを備えた基板処理装置であって、 前記移載装置で基板を前記気密室に対して搬入または搬出する際、前記搬送室内に設けられる基板待機位置にて基板の周縁部の検出を行い、正規の基板位置からの位置ずれ量を検出する少なくとも2つのラインセンサを設け、 前記ラインセンサは、 一方のラインセンサが前記基板待機位置における基板中心を原点とする極座標系において、基板中心から一方のラインセンサによる基板周縁部の検出点に向かう角度が前記気密室内への基板の搬入出方向と直交する方向に対して約20°〜50°の範囲で設けられ、 他方のラインセンサが前記一方のラインセンサと前記搬入出方向に対して線対称に設けられている基板処理装置。

IPC (1件)：

H01L 21/68

FI (1件)：

H01L21/68 F

Fターム (15件)：

5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA36 ,  5F031HA16 ,  5F031JA03 ,  5F031JA22 ,  5F031JA29 ,  5F031JA36 ,  5F031MA04 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031PA30