特許

J-GLOBAL ID：200903081891117243

ガラス基板の製造方法

発明者： 石川 英雄 ,  猿渡 宏 ,  杉澤 栄志郎
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-172382
公開番号（公開出願番号）：特開2001-002452
出願日： 1999年06月18日
公開日（公表日）： 2001年01月09日
要約：

【要約】【課題】カラーフィルタなどに用いるガラス基板の表裏両面の汚れに起因する欠陥の発生を防止するためのガラス基板の製造方法および装置を提供する。【解決手段】ガラス基板に対して5リットル/分(25°C、1atmに換算して)以上の空気を、ノズルにより表裏両面から吹き付けてクリーニングすることを特徴とするガラス基板の製造方法。

請求項（抜粋）：

ガラス基板に対して5リットル/分(25°C、1atmに換算して)以上の空気を、ノズルにより表裏両面から吹き付けてクリーニングすることを特徴とするガラス基板の製造方法。

IPC (3件)：

C03C 23/00 ,  B08B 5/02 ,  G02B 5/20 101

FI (3件)：

C03C 23/00 A ,  B08B 5/02 Z ,  G02B 5/20 101

Fターム (11件)：

2H048BA11 ,  2H048BB14 ,  3B116AA02 ,  3B116AB42 ,  3B116BB22 ,  3B116BB24 ,  3B116BB32 ,  3B116BB89 ,  3B116CD11 ,  4G059AA08 ,  4G059AC30