特許
J-GLOBAL ID：200903081892102819
走査型顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-186190
公開番号（公開出願番号）：特開平5-027177
出願日： 1991年07月25日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：
【要約】【目的】 照明光照射用光学系を搭載した移動台を試料に対して往復移動させることにより照明光走査を行なう走査型顕微鏡において、ムラの無い高画質の試料像を撮像可能とする。【構成】 移動台15の外に配設されたレーザ10から発せられた照明光11を、コリメート光学系12により、移動台15外において移動台移動方向(走査方向)Xと同方向に平行光状態で進行させる。そしてこの照明光11を、移動台15に固定したミラー16により、試料台22に向けて反射させる。
請求項（抜粋）：
試料が載置される試料台と、照明光を発する光源と、この照明光を試料上において微小な光点として結像させる送光光学系と、前記試料からの光束を集光して点像に結像させる受光光学系と、この点像を検出する光検出器と、前記送光光学系および受光光学系それぞれの少なくとも一部を一体的に保持する移動台と、この移動台を、前記光点が前記試料上を一方向に走査するように往復移動させる駆動手段とを備えた走査型顕微鏡において、前記光源が前記移動台の外に配設され、前記送光光学系が、照明光を移動台外において平行光の状態で前記走査の方向と平行な方向に導くコリメート光学系と、移動台に固定されて前記平行光状態の照明光を試料台に向けて反射させるミラーとを含んでいることを特徴とする走査型顕微鏡。
引用特許：
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