特許
J-GLOBAL ID：200903081894264506

基板処理システム

発明者：
山田 隆治

山田 隆治 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (3件)： 吉田 茂明 ,  吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-328552
公開番号（公開出願番号）：特開2005-093922
出願日： 2003年09月19日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：
【課題】 基板処理装置の障害の発生からその解析までの時間を短縮すると共に、障害解析担当者が障害の状況を正確に把握できる基板処理システムを提供する。【解決手段】 サポートセンター5のサポートコンピュータ3と、基板処理工場4の基板処理装置1とはネットワークを介して互いに接続され、サポートコンピュータ3は該ネットワークを介して基板処理装置1を遠隔操作可能である。基板処理装置1の表示部103には、操作部104を介して所定の操作を行う際に所定の操作画面が表示される。一方、サポートコンピュータ3の操作部34を介して、基板処理装置1に対し上記所定の操作に対応する遠隔操作を行う際に、表示部33に上記所定の操作画面と同様の画面が表示される。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
ネットワークを介して互いに接続された基板処理装置とサポートコンピュータとを備える基板処理システムであって、 前記基板処理装置は、その操作を行うための第1の操作部と、前記操作に係る操作画面を表示する第1の表示部とを備え、 前記サポートコンピュータは、前記ネットワークを介して前記基板処理装置を遠隔操作可能であり、前記遠隔操作を行うための第2の操作部と、前記遠隔操作に係る操作画面を表示する第2の表示部とを備え、 前記第1の操作部で前記基板処理装置に対し所定の操作を行う際に前記第1の表示部に表示される第1の操作画面と、前記第2の操作部で前記基板処理装置に対し前記所定の操作に相当する遠隔操作を行う際に前記第2の表示部に表示される第2の操作画面とは、同様の画面構成である ことを特徴とする基板処理システム。
IPC (2件)：
H01L21/02 ,  H01L21/027
FI (2件)：
H01L21/02 Z ,  H01L21/30 574
Fターム (6件)：
3C100AA38 ,  3C100AA59 ,  3C100CC02 ,  3C100CC12 ,  3C100EE06 ,  5F046PA19
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM