特許

J-GLOBAL ID：200903081911153349

異物検査方法及びその装置

発明者： 津村 明 ,  田端 靖代
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-307541
公開番号（公開出願番号）：特開平9-145630
出願日： 1995年11月27日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】本発明は、表面粗さの大きい被検査体上でも確実に微小な異物を検出する。【解決手段】半導体ウエハ4に対して所定の入射角でS偏光成分のレーザビームを照射し、半導体ウエハ4に生じる散乱光のうちS偏光成分のみを選択して所定の角度方向から受光し、この受光強度に基づいて半導体ウエハ4表面上の異物を検出する。

請求項（抜粋）：

被検査体に対して所定の入射角でS偏光成分の光を照射し、前記被検査体に生じる散乱光のうちS偏光成分のみを選択して所定の角度方向から受光し、この受光強度に基づいて前記被検査体表面上の異物などを検出することを特徴とする異物検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G01N 21/47

FI (2件)：

G01N 21/88 E ,  G01N 21/47 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭60-219542
  
• 特開昭60-219542
  
• 異物検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-076453   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開昭61-133843