複屈折板およびこれを用いた光学系

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川野宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-347668
公開番号（公開出願番号）：特開平9-166710
出願日： 1995年12月15日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：

【要約】【目的】互いに異なる所定の複数の誘電体材料からなる斜め蒸着単層膜を交互に積層してなる斜め蒸着膜により複屈折性を持たせ、各種光学要素として用いる場合にその光学設計の自由度を高める。【構成】この複屈折板1は、透明ガラス基板2上にTiO2(二酸化チタン)の単層膜3,5とSiO2(酸化ケイ素)の単層膜4,6を交互に斜め蒸着により形成してなる。図1には、省略して描かれているが、実際には22層の単層膜が積層されている。また、各単層膜3、4、5、6の膜厚は略λ/4(λ=650nm)に設定されている。

請求項（抜粋）：

被蒸着基板の表面上に斜め方向から誘電体材料を蒸着せしめて斜め蒸着膜を形成してなる複屈折板において、該斜め蒸着膜は、互いに異なる誘電体材料からなる斜め蒸着単層膜を交互に積層してなることを特徴とする複屈折板。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭63-132203
特開昭63-301905

前のページに戻る