特許
J-GLOBAL ID：200903081917960661
合成石英粉粒体の輸送装置及びそれを用いた輸送方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-235360
公開番号（公開出願番号）：特開平8-104531
出願日： 1994年09月29日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：
【要約】【目的】 品質低下をもたらすことなく連結的かつ効率的な合成石英粉粒体の輸送を可能とする。【構成】 真空発生装置、分離装置、配管部及び吸引ノズルを含む気力輸送装置であって、該吸引ノズルが各内筒及び外筒の間に空隙を有し少なくとも表面が石英から成る二重管であって内筒の少なくとも一部が外筒よりも短い構造を有し、かつ配管部が石英配管であることを特徴とする合成石英粉粒体の輸送装置。
請求項（抜粋）：
真空発生装置、分離装置、配管部及び吸引ノズルを含む気力輸送装置であって、該吸引ノズルが内筒及び外筒の間に空隙を有し少なくとも表面が石英から成る二重管であって、内筒の少なくとも一部が外筒よりも短い構造を有し、かつ配管部が石英配管であることを特徴とする合成石英粉粒体の輸送装置。
IPC (3件)：
C03B 20/00
, B01J 4/00 105
, B65G 53/42
