特許
J-GLOBAL ID：200903081918764718
共焦点光学装置及び該装置の合焦位置算定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-082791
公開番号（公開出願番号）：特開平10-281743
出願日： 1997年04月01日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：
【要約】【課題】必要となるメモリ容量を低減しつつ、被計測物体の高さを迅速かつ正確に計測することができる共焦点光学装置及び該装置におけるピーク検出方法を提供すること。【解決手段】理想的なV-Z曲線のピーク部分を示すモデルデータをあらかじめモデルデータ記憶部14に格納しておき、検出データ記憶部13に記憶する局所的な検出データを更新する都度、ピーク算定処理部12がモデルデータと検出データを用いてピーク度数を算定し、このピーク度数に基づいてピーク領域をなす局所的な検出データを特定し、特定した検出データを用いた曲線近似を行って被計測物体の高さを求める。
請求項（抜粋）：
物体からの反射光を検出器で検出し、該検出器による検出データの分布に基づいて前記物体の高さを示す合焦位置を算定する共焦点光学装置において、前記検出データの基準分布のピーク部分を示すn個の基準データを記憶する第1の記憶手段と、前記検出器が連続して検出したn個の検出データを記憶する第2の記憶手段と、前記第1の記憶手段に記憶したn個の基準データと前記第2の記憶手段に記憶したn個の検出データに基づいて、該n個の検出データが前記分布のピーク部分となる蓋然性を示すピーク度数を算出する算出手段と、前記算出手段が算出したピーク度数に基づいて前記物体の高さを示す合焦位置を特定する特定手段とを具備することを特徴とする共焦点光学装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01B 11/24 Z
, G02B 7/11 H
, G02B 7/11 Z
