特許
J-GLOBAL ID:200903081931824657
液晶表示デバイス及び液晶表示デバイスの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
二瓶 正敬
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-280954
公開番号(公開出願番号):特開平5-203958
出願日: 1992年09月25日
公開日(公表日): 1993年08月13日
要約:
【要約】【目的】 斜方蒸着法の優れた配向効果を維持しつつ膜厚や入射角の変動による影響を抑えて、配向むらや駆動時のむらのない高コントラスト比の特性の安定した垂直配向型の液晶表示デバイス及びその製造方法を提供する。【構成】 パターンニングした透明電極付きのガラス基板A、Bを、蒸発源7に対してθ1だけ傾けてセットし、イオンガン8によるイオンビーム10を照射しながらSiO2を蒸着する。続いて、同基板を基板面内で90度回転して、蒸発源に対してθ2だけ傾けてセットし、イオンビーム10を照射しながらSiO2を蒸着する。このようにして配向下地膜2を処理したガラス基板A、Bは、垂直配向膜3を付与後スぺーサー5を介して張り合わされ、液晶4が注入されて液晶表示デバイスが完成する。
請求項(抜粋):
垂直配向型の液晶表示デバイスにおいて、垂直配向の下地膜をイオンビームアシストした斜方蒸着膜で形成したことを特徴とする液晶表示デバイス。
IPC (2件):
G02F 1/1337 505
, H04N 5/66 102
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