特許

J-GLOBAL ID：200903081932344845

膜厚解析装置

発明者： 野瀬 宏明
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-231780
公開番号（公開出願番号）：特開平9-079824
出願日： 1995年09月08日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：

【要約】【課題】 被測定物の膜厚を被測定物の全面にわたって評価することができるとともに被測定物の膜厚を非破壊で評価することのできる膜厚解析装置を提供する。【解決手段】 赤外面光源1と、バンドパスフィルター2と、IRカメラ3と、演算装置4とを備え、赤外面光源1から発し被測定物50中を透過した赤外線のうち特定波長のものをバンドパスフィルター2で選択し、このバンドパスフィルター2で選択した特定波長の赤外線のエネルギー分布をIRカメラ3で捕らえ、このIRカメラ3で捕らえた特定波長の赤外線のエネルギー分布データを演算装置4で演算して被測定物の膜厚を評価する構成とする。

請求項（抜粋）：

被測定物の膜厚を2次元で評価する装置であって、赤外面光源と、バンドパスフィルターと、IRカメラと、演算装置とを備え、前記赤外面光源から発し被測定物中を透過した赤外線のうち特定波長のものを前記バンドパスフィルターで選択し、このバンドパスフィルターで選択した特定波長の赤外線のエネルギー分布を前記IRカメラで捕らえ、このIRカメラで捕らえた特定波長の赤外線のエネルギー分布データを前記演算装置で演算して被測定物の膜厚を評価することを特徴とする膜厚解析装置。