特許
J-GLOBAL ID：200903081933897171
超高真空顕微鏡センサ部ユニット、その取り付け方法及び顕微鏡装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-332469
公開番号（公開出願番号）：特開平8-166395
出願日： 1994年12月12日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：
【要約】【目的】 超高真空においても利用できる原子間力顕微鏡(AFM)或いは原子間力顕微鏡を含む複合顕微鏡を提供することが本発明の目的である。超高真空に引くにはチャンバをベ-キングしなければならないが、そうすると熱に弱い、圧電素子、レ-ザダイオ-ド等を損傷する可能性がある。さらに真空チャンバの内部でカンチレバ-を交換するのは難しい。ベ-キングによって圧電素子やレ-ザを損なわず、カンチレバ-の取り替えを容易にした改良を提案する。【構成】 カンチレバ-、圧電素子、レ-ザ、受光素子などを一体化してセンサ部ユニットとする。これを外部から試料直上の装着部へ或いは反対に装着部から外部へ搬送できるようにする。外部にセンサ部ユニットを取り出してカンチレバ-を取り替える。真空装置を加熱しべ-キングした後で、センサ部ユニットを真空チャンバの内部に装入して装着部に固定する。この状態で試料の検査を行なうことができる。センサ部ユニットを外部においてチャンバを加熱できるので、べ-キングによって圧電素子やレ-ザが劣化しない。
請求項（抜粋）：
原子間力顕微鏡または、原子間力顕微鏡、静電容量顕微鏡と走査型トンネル顕微鏡を合体した複合顕微鏡のカンチレバ-の撓みを検出するセンサ部であって、分析チャンバ内の所定の位置に設けた装着部外枠に嵌合するスライダ-と、スライダ-に一端を固定した三次元変位可能な圧電素子と、圧電素子の他の面に固定したハウジングと、ハウジングに固定され検出のための光を発生する発光素子と、発光素子から出た光をカンチレバ-の背面に導くミラ-と、カンチレバ-の背面で反射された光をさらに反射するミラ-と、ミラ-によって反射された光を受光してカンチレバ-のたわみに応じた比率の出力を与える複数に分割された受光素子と、ミラ-の回転ステ-ジと、受光素子または発光素子の位置を調整するためのステ-ジと、カンチレバ-の位置を調整するためのステ-ジと、スライダ-に形成された搬送装置との結合機構を含み、真空チャンバの外部に取り出すことができ、外部においてカンチレバ-を交換し光軸の調整を行い、搬送装置によって保持されて真空中を搬送できるようになっていることを特徴とする超高真空顕微鏡のセンサ部ユニット。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
