特許
J-GLOBAL ID:200903081937470288

マクロ検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-308210
公開番号(公開出願番号):特開2003-114194
出願日: 2001年10月04日
公開日(公表日): 2003年04月18日
要約:
【要約】【課題】 任意の位置に、被測定物を移動させても、被測定物の欠陥位置に対応する座標値データが正確に得られるようにしたマクロ検査装置の実現。【解決手段】 吸着ベース上の被測定物の欠陥を目視により検査するマクロ検査装置において、被測定物をX方向及びY方向に回転可能なXY移動機構と、θ方向に回転可能なθ移動機構と、被測定物と平行に移動可能なPXPYステージとを設け、被測定物の欠陥を、PXPYステージに設けたレーザポインタにより指示し、その欠陥位置座標の測定を可能とし、この座標値データを他の検査装置に転送するようにしたものである。
請求項(抜粋):
吸着ベース上の被測定物の欠陥を目視により検査するマクロ検査装置において、上記被測定物をX方向及びY方向に回転可能なXY移動機構と、θ方向に回転可能なθ移動機構と、上記被測定物と平行に移動可能なPXPYステージを設け、上記XY移動機構、θ移動機構の位置移動に際しても、上記被測定物の欠陥位置座標の測定を可能としたことを特徴とするマクロ検査装置。
Fターム (7件):
2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051CA11 ,  2G051DA03 ,  2G051DA08 ,  2G051DA15

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