特許

J-GLOBAL ID：200903081942380734

単結晶引上げ装置の不活性ガス回収装置

発明者： 大塚 誠一郎 ,  黒澤 靖志
出願人/特許権者： 信越半導体株式会社
代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-368293
公開番号（公開出願番号）：特開平11-199388
出願日： 1997年12月27日
公開日（公表日）： 1999年07月27日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 本発明は、単結晶引上げ装置から不活性ガスを回収するドライ真空ポンプを効果的に冷却し、ガスの精製費用を安価にする技術の提供を目的とする。【解決手段】 単結晶引上げ装置1からドライ真空ポンプ3で使用済みのアルゴンガスを回収し、このガスを回収精製装置5で精製した後、循環ライン7を通して循環させるようにした回収装置において、回収したアルゴンガスの一部を熱交換器10を通して冷却し、冷却されたアルゴンガスを冷却ライン11を通してドライ真空ポンプ3に送り込み冷却する。この際、冷却用のガスとして、回収精製装置5を経由したアルゴンガスを使用しても良い。

請求項（抜粋）：

単結晶引上げ装置の不活性ガスを回収するドライ真空ポンプを備えた不活性ガス回収装置であって、前記ドライ真空ポンプによって回収される不活性ガスの一部を熱交換器を通して冷却し、この冷却された不活性ガスを前記ドライ真空ポンプの冷却ラインに送り込んでドライ真空ポンプを冷却するようにしたことを特徴とする単結晶引上げ装置の不活性ガス回収装置。

IPC (2件)：

C30B 29/06 502 ,  F04D 19/04

FI (2件)：

C30B 29/06 502 K ,  F04D 19/04 H