基材表面被覆層及びその形成方法並びに熱交換器用フィン及びその製造方法。

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池内寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-146046
公開番号（公開出願番号）：特開平8-337874
出願日： 1995年06月13日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：

【要約】【目的】優れた撥水性能が長期間維持される撥水性(耐久性)と,高機械的強度とを有する基材表面被覆層を提供する。【構成】表面4に微小な凹凸を有する基板1の前記表面4にDLC層2を形成し、このDLC層2の表面にフッ素を含有するプラズマを照射して、その最表面におけるフッ素原子数とカーボン原子数の比(F/C値)が0.55以上であるフッ素含有カーボン層3を形成する

請求項（抜粋）：

基材表面に形成されたダイヤモンド状カーボン層と、前記ダイヤモンド状カーボン層上に形成されたその最表面におけるフッ素原子数とカーボン原子数の比(F/C値)が0.55以上である,C-F結合を有するフッ素含有カーボン層とからなる基材表面被覆層。

IPC (6件)：

C23C 16/26 , A47J 37/06 311 , C23C 16/56 , F28F 13/18 , F28F 19/02 501 , F28F 19/04

FI (6件)：

C23C 16/26 , A47J 37/06 311 , C23C 16/56 , F28F 13/18 A , F28F 19/02 501 Z , F28F 19/04 A

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