特許

J-GLOBAL ID：200903081945602452

マスク作成用原板

発明者： 近藤 俊一 ,  國田 一人
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-325989
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131900
出願日： 2000年10月25日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：

【要約】【課題】 可視光線に対して高感度で、高い解像力を有し、かつ優れた膜物性を与える光重合層を備えるマスク作成用原板を提供する。【解決手段】 透明な支持体上に金属薄膜を設け、その上に熱可塑性高分子結合剤、下記一般式(I)で表される構造を有する化合物および光重合開始剤を含有する光重合層を設けたことを特徴とするマスク作成用原板【化1】

請求項（抜粋）：

透明な支持体上に金属薄膜を設け、その上に熱可塑性高分子結合剤、下記一般式(I)で表される構造を有する化合物および光重合開始剤を含有する光重合層を設けたことを特徴とするマスク作成用原板。【化1】(一般式(I)中、Q1は、シアノ基(CN)、または式COX2で表される基であり、X1とX2は、各々独立して、ヘテロ原子又はハロゲン原子を表す。Ra、Rbは、各々独立して、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基又は有機残基を表す。また、X1とX2、RaとRb、X1とRaあるいはRbとが互いに結合して環状構造を形成してもよい。)

IPC (8件)：

G03F 7/027 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/48 ,  C08F291/00 ,  G03F 1/08 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/11 503

FI (8件)：

G03F 7/027 ,  C08F 2/44 C ,  C08F 2/48 ,  C08F291/00 ,  G03F 1/08 J ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/11 503

Fターム (73件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA13 ,  2H025AB08 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC38 ,  2H025CA00 ,  2H025CB00 ,  2H025DA19 ,  2H025DA30 ,  2H025FA03 ,  2H025FA15 ,  2H025FA40 ,  2H095BC06 ,  4J011PA64 ,  4J011PA65 ,  4J011PA66 ,  4J011PA69 ,  4J011PA70 ,  4J011PB40 ,  4J011PC02 ,  4J011QA03 ,  4J011QA13 ,  4J011QA22 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QA34 ,  4J011QA37 ,  4J011QA38 ,  4J011QA39 ,  4J011QA40 ,  4J011QA45 ,  4J011RA01 ,  4J011RA03 ,  4J011RA04 ,  4J011RA05 ,  4J011RA10 ,  4J011SA25 ,  4J011SA32 ,  4J011SA64 ,  4J011SA74 ,  4J011SA83 ,  4J011SA84 ,  4J011SA85 ,  4J011SA86 ,  4J011SA87 ,  4J011SA88 ,  4J011TA01 ,  4J011TA05 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J026AA17 ,  4J026AA24 ,  4J026AA43 ,  4J026AA45 ,  4J026AA49 ,  4J026AA54 ,  4J026AC09 ,  4J026BA27 ,  4J026BA28 ,  4J026BA29 ,  4J026BA30 ,  4J026BA31 ,  4J026BA39 ,  4J026BA40 ,  4J026BA44 ,  4J026DB06 ,  4J026DB11 ,  4J026DB36 ,  4J026GA08