特許

J-GLOBAL ID：200903081945847480

動画ファイリング検査装置

発明者： 河井 章利
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-280572
公開番号（公開出願番号）：特開平7-113764
出願日： 1993年10月14日
公開日（公表日）： 1995年05月02日
要約：

【要約】【目的】 複数の検査装置の数と同数の作業者を必要とせず、しかも検査装置周囲の環境をクリーンに保つことができ、更には検査効率を高めることができるようにする。【構成】 n個の検査装置1,2,3に対してn+1個の記録装置8,9,10,11を備えているので、記録と再生とが並列的且つ連続的に実行され、検査装置1,2,3による半導体ウエハ交換のためにマクロ検査が中断されることはない。また、半導体ウエハを画像データ化して1台のモニタ12に表示するようにしたので、検査装置1,2,3から遠く離れた位置で半導体ウエハの観察が可能になり、検査装置1,2,3の周囲から発塵源としての作業者を遠ざけることができるとともに、検査装置1,2,3の数と同数の作業者を必要としない。

請求項（抜粋）：

被検物を交換する被検物交換手段と、前記被検物を撮像し、画像データを出力する撮像手段とをそれぞれが有するn個の検査手段と、前記検査手段の撮像手段からの画像データを記録する少なくともn+1個の画像データ記録手段と、前記画像データ記録手段からの画像データを表示する単一の画像データ表示手段と、前記検査手段の撮像手段と前記画像データ記録手段との接続を切り換えて、前記検査手段の撮像手段からの画像データを選択的に前記画像データ記録手段に転送する第1の切換手段と、前記画像データ記録手段と前記画像データ表示手段との接続を切り換えて、前記画像データ記録手段からの画像データを選択的に前記画像データ表示手段に転送する第2の切換手段と、前記第1の切換手段を制御して前記検査手段の撮像手段からの画像データを記録可能な前記画像データ記録手段を選択して転送させるとともに、前記第2の切換手段を制御して前記第1の切換手段によって選択されていない前記画像データ記録手段に記録された前記画像データを前記画像データ表示手段に順次転送させて、前記画像データ記録手段による記録と前記画像データ表示手段による表示とを並列的に実行させる制御手段とを備えていることを特徴とする動画ファイリング検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G06T 7/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-106350
  
• 特開昭63-167209