特許
J-GLOBAL ID：200903081952325537
スピンコータによる角型基板への液塗布方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三浦 邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-058069
公開番号（公開出願番号）：特開平5-253528
出願日： 1992年03月16日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：
【要約】【目的】 スピンコータによって角型基板にフォトレジスト液を塗布する際、該基板の四隅周辺部の膜厚の増加を招くことがない塗布方法を得ること。【構成】 角型基板の周囲辺部に、該基板の液塗布面より僅かに高い段差を形成する液規制壁を有するダミー部材を設けるとともに、隅部に、液塗布面と同一高さまたはこれより低い液排出部を設け、このダミー部材の液規制壁の液塗布面からの高さを、該液塗布面への予定塗布膜厚より大きく、かつこの角型基板およびダミー部材を一体に回転させながら液塗布面に粘性液を供給したとき、該粘性液の一部がその上を通過する高さに設定したスピンコータによる角型基板への液塗布方法。
請求項（抜粋）：
角型基板を回転させることにより、その液塗布面に粘性液を塗布するスピンコータにおいて、角型基板の周囲辺部に、該基板表面より僅かに高い段差を形成する液規制壁を有するダミー部材を設けるとともに、隅部に、この液規制壁が存在しない液排出部を設け、このダミー部材の液規制壁の液塗布面からの高さを、該液塗布面への予定塗布膜厚より大きく、かつこの角型基板およびダミー部材を一体に回転させながら上記液塗布面に粘性液を供給したとき、該粘性液の一部がその上を通過する高さに設定したことを特徴とするスピンコータによる角型基板への液塗布方法。
IPC (4件)：
B05C 11/08
, B05D 1/40
, G03F 7/16 502
, H01L 21/027
